Технология лазерной оптико-эмиссионной спектрометрии анализа элементного состава Laser Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS), возникла в 1962 году, когда была впервые продемонстрирована с использованием рубинового мазера. В 1980 году Leon Radziemski, David Cremers и соавторы из Los Alamos National Laboratory (New Mexico, USA), первыми разработали практическое применение метода лазерной оптико-эмиссионной спектрометрии анализа элементного состава, и именно их группа предложила акроним LIBS для этой технологии. По сути, LIBS является разновидностью оптической эмиссионной спектроскопии, где источником возбуждения исследуемого вещества служит импульсный лазер.

Пучок пульсирующего лазера (Q-switched Nd:YAG) фокусируется на поверхности анализируемого материала. При продолжительности импульса лазерного луча, которая составляет обычно 10 наносекунд, плотность мощности на поверхности может достигать 1ГВт на см². При такой, очень высокой удельной плотности энергии, на поверхности изучаемого материала мгновенно достигается температура более 30000ºС и образуется плазма. Плазма представляет собой в целом электронейтральную комбинацию атомов, ионов и электронов. В процессе рекомбинации возбужденных ионов с электронами и возвращением атомов исследуемого вещества в низкоэнергетические состояния испускаются фотоны с длинами волн, характеристическими для атомов каждого элемента в диапазоне длин волн от 190 до 1100 нм.

Излучение с помощью оптической системы направляется в чувствительный CCD спектрометр, регистрирующий линии одновременно всех элементов, находящихся в исследуемом веществе.

Получаемый оптический спектр является характеристическим для данного вещества.  Их интенсивности связаны с концентрациями содержащихся в исследуемом материале элементов.

В широком оптическом диапазоне всегда можно выбрать неинтерферирующие линии большинства необходимых исследователю химических элементов даже и легких элементов (B, C, Si, Al, P) в сложных минеральных основах, в том числе, например, содержащих большое количество Fe и Cl. Это обуславливает возможность применения LIBS в самых разных отраслях.